深圳市中圖儀器股份有限公司為您提供光學(xué)輪廓儀技術(shù)原理。中圖儀器supervieww1光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3d非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，能以非接觸的方式，無損檢測精密機(jī)械加工表面；檢測結(jié)果以3d數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。典型結(jié)果包括：
1、表面形貌粗糙度、平面度、平行度、臺階高度、錐角等等
2、幾何特征關(guān)鍵孔徑尺寸、曲率半徑、特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等
數(shù)秒內(nèi)，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。同時提供豐富的各類物鏡選擇，以滿足挑戰(zhàn)的測試需求，除了標(biāo)配的10x干涉物鏡，還有2.5x、5x、20x、50x、100x可選。
光學(xué)輪廓儀技術(shù)原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
supervieww1光學(xué)輪廓儀特征
1. 業(yè)界zui高的垂直分辨率，測量性能強(qiáng)；2. 0.5~200倍的放大倍率；
3. 任何倍率下wei納米級垂直測量量程；
4. 光學(xué)輪廓儀測量硬件設(shè)計(jì)，增強(qiáng)生產(chǎn)環(huán)境中的可kao性和重復(fù)性；較高的震動的容忍度和自動校準(zhǔn)能力；
5. 多核處理器下的運(yùn)行軟件，提高三維表面測量和分析速度數(shù)據(jù)處理速度提高幾十倍；分析速度提高十倍； 6. 無以倫比的大量數(shù)據(jù)無縫拼接能力
7. 三維光學(xué)輪廓儀高度直觀的用戶界面，擁有業(yè)界zui強(qiáng)的實(shí)用性，操作簡便和分析功能優(yōu)化的用戶界面簡化測量和數(shù)據(jù)分析過程；可視化操作工具；可自行設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的界面；
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