光學3D表面輪廓檢測儀

深圳市中圖儀器股份有限公司為您提供光學3d表面輪廓檢測儀。supervieww1光學3d表面輪廓檢測儀重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。采用光學干涉技術、精密z向掃描模塊和3d重建算法組成測量系統，測量精度高；隔振系統能夠有效隔離頻率2hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重復性。

測量分析軟件
1測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；
2可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程；
4幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；
6可測依據iso/asme/eur/gbt等標準的多達300余種2d、3d參數。
測量結果組成：
1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和mems表征。

supervieww1光學3d表面輪廓檢測儀采用了ccd取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3d圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得清晰，圖像，觀察方便。

supervieww1光學3d表面輪廓檢測儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3c電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、mems器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據iso/asme/eur/gbt四大標準共計300余種2d、3d參數作為評價標準。

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