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玻璃光刻膠公司-賽米萊德(在線咨詢)-光刻膠公司

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2022-4-9  
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光刻膠

賽米萊德生產、銷售光刻膠,以下信息由賽米萊德為您提供。

1959 年被發明以來就成為半導體工業的工藝材料之一。隨后光刻膠被改進運用到印制電路板的制造工藝,成為 pcb 生產的重要材料。

二十世紀 90 年代,化學光刻膠公司,光刻膠又被運用到平板顯示的加工制作,對平板顯示面板的大尺寸化、高精細化、彩色化起到了重要的推動作用。

在半導體制造業從微米級、亞微米級、深亞微米級進入到納米級水平的過程中,光刻膠公司,光刻膠也起著舉足輕重的作用。

總結來說,光刻膠產品種類多、性強,需要長期技術積累,對企業研發人員素質、行業經驗、技術儲備等都具有---要求,企業需要具備光化學、有機合成、高分子合成、精制提純、微量分析、性能評價等技術,具有---的技術壁壘。



光刻膠:半導體技術壁壘的材料之一

光刻是整個集成電路制造過程中耗時長、難度大的工藝,耗時占ic制造50%左右,成本約占ic生產成本的1/3。光刻膠是光刻過程重要的耗材,光刻膠的對光刻工藝有著重要影響。

賽米萊德——生產、銷售光刻膠,我們公司堅持用戶為---,想用戶之所想,光阻劑光刻膠公司,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽,以產品求發展,以求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創。



光刻膠的參數

賽米萊德生產、銷售光刻膠,我們為您分析該產品的以下信息。

分辨率

分辨率英文名:resolution。區別硅片表---鄰圖形特征的能力,玻璃光刻膠公司,一般用關鍵尺寸cd,critical dimension來衡量分辨率。形成的關鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。

對比度

對比度contrast指光刻膠從---區到非---區過渡的陡度。對比度越好,形成圖形的側壁越陡峭,分辨率越好。

敏感度

敏感度sensitivity光刻膠上產生一個---的圖形所需一定波長光的能量值或---量。單位:毫焦/平方厘米或mj/cm2。光刻膠的敏感性對于波長更短的深紫外光duv、極深紫外光euv等尤為重要。

粘滯性黏度

粘滯性/黏度viscosity是衡量光刻膠流動特性的參數。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加;高的粘滯性會產生厚的光刻膠;越小的粘滯性,就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重sg,specific gravity是衡量光刻膠的密度的指標。它與光刻膠中的固體含量有關。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體,粘滯性更高、流動性更差。粘度的單位:泊poise,光刻膠一般用厘泊cps,厘泊為1%泊來度量。百分泊即厘泊為粘滯率;運動粘滯率定義為:運動粘滯率=粘滯率/比重。 單位:百分斯托克斯cs=cps/sg。

粘附性

粘附性adherence表征光刻膠粘著于襯底的強度。光刻膠的粘附性不足會導致硅片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經受住后續工藝刻蝕、離子注入等。

抗蝕性

抗蝕性anti-etching光刻膠必須保持它的粘附性,在后續的刻蝕工序中保護襯底表面。耐熱穩定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。

表面張力

液體---表面分子拉向液體主體內的分子間吸引力。光刻膠應該具有比較小的表面張力surface tension,使光刻膠具有---的流動性和覆蓋。



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