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賽米萊德-NR9 3000P光刻膠

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2023-2-13  
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北京賽米萊德貿易有限公司為您提供賽米萊德-nr9 3000p光刻膠。




光刻膠按用途分類

光刻膠經過幾十年不斷的發展和進步,應用領域不斷擴大,衍生出非常多的種類,按照應用領域,光刻膠可以劃分為印刷電路板(pcb)用光刻膠、液晶顯示(lcd)用光刻膠、半導體用光刻膠和其他用途光刻膠。其中,nr9 3000p光刻膠廠家,pcb 光刻膠技術壁壘相對其他兩類較低,而半導體光刻膠代表著光刻膠技術水平。

(1)半導體用光刻膠

在半導體用光刻膠領域,光刻技術經歷了紫外全譜(300~450nm)、g 線(436nm)、i 線 (365nm)、深紫外(duv,包括 248nm 和 193nm)和極紫外(euv)六個階段。相對應于各-波長的光刻膠也應運而生,光刻膠中的關鍵配方成份,如成膜樹脂、光引發劑、添加劑也隨之發生變化,nr9 3000p光刻膠,使光刻膠的綜合性能-地滿足工藝要求。

(2)lcd光刻膠

在lcd 面板制造領域,光刻膠也是極其關鍵的材料。根據使用對象的不同,可分為 rgb 膠(彩色膠)、bm膠(黑色膠)、oc 膠、ps 膠、tft 膠等。

光刻工藝包含表面準備、涂覆光刻膠、前烘、對準-、顯影、堅膜、顯影檢查、刻蝕、剝離、終檢查等步驟,以實現圖形的轉移,制造特定的微結構。

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光刻膠的生產步驟  

1、準備基質:在涂布光阻劑之前,硅片一般要進行處理,需要經過脫水烘培蒸發掉硅片表面的水分,并涂上用來增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物以及硅二-。

2、涂布光阻劑photo resist:將硅片放在一個平整的金屬托盤上,托盤內有小孔與真空管相連,硅片就被吸在托盤上,這樣硅片就可以與托盤一起旋轉。

3、軟烘干:也稱前烘。在液態的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%,甩膠之后雖然液態的光刻膠已經成為固態的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易玷污灰塵。通過在較高溫度下進行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發出來,nr9 3000p光刻膠,從而降低了灰塵的玷污。

4、-:-過程中,光刻膠中的感光劑發生光化學反應,從而使正膠的感光區、負膠的非感光區能夠溶解于顯影液中。正性光刻膠中的感光劑dq發生光化學反應,變為-,進一步水解為茚并羧酸,羧酸對堿性溶劑的溶解度比未感光的感光劑高出約100倍,同時還會促進酚醛樹脂的溶解。于是利用感光與未感光的光刻膠對堿性溶劑的不同溶解度,就可以進行掩膜圖形的轉移。

5、顯影development :經顯影,正膠的感光區、負膠的非感光區溶解于顯影液中,-后在光刻膠層中的潛在圖形,顯-便顯現出來,在光刻膠上形成三位圖形。為了提高分辨率,幾乎每一種光刻膠都有專門的顯影液,以-高的顯影效果。

6、硬烘干:也稱堅膜。顯-,硅片還要經過一個高溫處理過程,主要作用是除去光刻膠中剩余的溶劑,增強光刻膠對硅片表面的附著力,nr9 3000p光刻膠哪里有,同時提高光刻膠在刻蝕和離子注入過程中的抗蝕性和保護能力。

7、刻腐蝕或離子注入

8、去膠:刻蝕或離子注入之后,已經不再需要光刻膠作保護層,可以將其除去,稱為去膠,分為濕法去膠和干法去膠,其中濕法去膠又分去膠和無機溶劑去膠。

以上內容由賽米萊德為您提供,希望對同行業的朋友有所幫助!

光刻膠的參數

賽米萊德生產、銷售光刻膠,我們為您分析該產品的以下信息。

分辨率

分辨率英文名:resolution。區別硅片表-鄰圖形特征的能力,一般用關鍵尺寸cd,critical dimension來衡量分辨率。形成的關鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。

對比度

對比度contrast指光刻膠從-區到非-區過渡的陡度。對比度越好,形成圖形的側壁越陡峭,分辨率越好。

敏感度

敏感度sensitivity光刻膠上產生一個-的圖形所需一定波長光的能量值或-量。單位:毫焦/平方厘米或mj/cm2。光刻膠的敏感性對于波長更短的深紫外光duv、極深紫外光euv等尤為重要。

粘滯性黏度

粘滯性/黏度viscosity是衡量光刻膠流動特性的參數。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加;高的粘滯性會產生厚的光刻膠;越小的粘滯性,就有越均勻的光刻膠厚度。光刻膠的比重sg,specific gravity是衡量光刻膠的密度的指標。它與光刻膠中的固體含量有關。較大的比重意味著光刻膠中含有更多的固體,粘滯性更高、流動性更差。粘度的單位:泊poise,光刻膠一般用厘泊cps,厘泊為1%泊來度量。百分泊即厘泊為粘滯率;運動粘滯率定義為:運動粘滯率=粘滯率/比重。 單位:百分斯托克斯cs=cps/sg。

粘附性

粘附性adherence表征光刻膠粘著于襯底的強度。光刻膠的粘附性不足會導致硅片表面的圖形變形。光刻膠的粘附性必須經受住后續工藝刻蝕、離子注入等。

抗蝕性

抗蝕性anti-etching光刻膠必須保持它的粘附性,在后續的刻蝕工序中保護襯底表面。耐熱穩定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。

表面張力

液體-表面分子拉向液體主體內的分子間吸引力。光刻膠應該具有比較小的表面張力surface tension,使光刻膠具有-的流動性和覆蓋。



賽米萊德-nr9 3000p光刻膠由 北京賽米萊德貿易有限公司提供。 北京賽米萊德貿易有限公司在半導體材料這一領域傾注了諸多的熱忱和熱情,賽米萊德一直以客戶為中心、為客戶創造價值的理念、以品質、服務來贏得市場,衷心希望能與社會各界合作,共創成功,共創。相關業務歡迎垂詢,聯系人:蘇經理。


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