1、負性光刻膠
主要有聚酸系(聚酮膠)和環化橡膠系兩大類，前者以柯達公司的kpr為代表，后者以omr系列為代表。
2、正性光刻膠
主要以-醒為感光化臺物，以酚醛樹脂為基本材料。的有az-1350系列。正膠的主要優點是分辨率高，缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
3、負性電子束光刻膠
為含有環-、乙烯基或環-物的聚合物。 的是cop膠，典型特性:靈敏度0.3~0.4μc/cm2 (加速電壓10kv時)、分辨率1.0um、 對比度0.95。-分辨率
的主要因素是光刻膠在顯影時的溶脹。
4、正性電子束光刻膠
主要為-、烯砜和-類這三種聚合物。的是pmma膠，典型特性:靈敏度40~ 80μc/cm2 (加速電壓20kv時)、分辨率0.1μm、 對比度2~3。
pmma膠的主要優點是分辨率高。主要缺點是靈敏度低，nr9 3000py光刻膠，此外在高溫下易流動，耐干法刻蝕性差。
在-過程中，正性膠通過感光化學反應，nr9 3000py光刻膠，切斷樹脂聚合體主鏈和從鏈之間的聯系，達到削弱聚合體的目的，所以-后的光刻膠在隨后顯影處理中溶解度升高。-后的光刻膠溶解速度幾乎是未-的光刻膠溶解速度的10倍。而負性膠，在感光反應過程中主鏈的隨機十字鏈接更為緊密，并且從鏈下墜物增長，所以聚合體的溶解度降低。見正性膠在-區間顯影，負性膠則相反。負性膠由于-區間得到保留，漫射形成的輪廓使顯-的圖像為上寬下窄的圖像，而正性膠相反，nr9 3000py光刻膠廠家，為下寬上窄的圖像。
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光刻膠產品種類多、性強，是典型的技術密集型行業。不同用途的光刻膠-光源、反應機理、制造工藝、成膜特性、加工圖形線路的精度等性能要求不同，導致對于材料的感光性能、溶解性、耐蝕刻性、耐熱性等要求不同。因此每一類光刻膠使用的原料在化學結構、性能上都比較特殊，要求使用不同品質等級的光刻膠化學品。
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