真空鍍膜系統的制作方法
在現有的真空鍍膜機中，安裝在鍍膜腔體中的加熱裝置多種多樣，現有的用于真空鍍膜的加熱裝置大多有加熱效率不高，無法減輕操作負擔、以及提高作業效率，受熱不均等問題。
提供一種真空鍍膜系統，本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
真空鍍膜系統優點：蒸發鍍膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中---環境中不穩定因素影響，保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。
如何保養鍍膜機才能壽命更長？
真空鍍膜機就是：蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長形成薄膜。對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經歷成膜過程，終形成薄膜。
那么在使用的同時，我們怎么去保養他，愛護它，從而讓他壽命更長呢？
一般擴散泵連續使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入---，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水清洗干凈，待水份揮發干以后，裝好泵膽，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，真空鍍膜設備便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。
方法是：啟動維持泵，關好大門，數分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6x10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣---后方可加熱，否則擴散泵油會燒環，真空鍍膜設備無法進入工作狀態。
方法是：用naoh飽和溶液反復擦洗真空室內壁，注意人體皮膚不可以直接接觸naoh溶液，以免灼傷目的是使鍍上去的膜料鋁al與naoh發生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。
當粗抽泵滑閥泵，旋片泵連續工作一個月雨季減半，需更換新油。
方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量油視鏡觀察。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦干凈箱內污垢。
濺鍍機設備與工藝磁控濺鍍
濺鍍機由真空室，排氣系統，濺射源和控制系統組成。濺射源又分為電源和濺射sputtergun磁控濺射分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30-40%，圓柱型靶材料利用率>;50%濺射電源分為：直流dc、射頻rf、脈沖pulse，直流：800-1000vmax導體用，須可災弧。
射頻：13.56mhz，非導體用。脈沖：泛用，新發展出濺鍍時須控制參數有濺射電流，電壓或功率，以及濺鍍壓力5×10-1—1.0pa，若各參數皆穩定，膜厚可以鍍膜時間估計出來。
靶材的選擇與處理十分重要，純度要佳，質地均勻，沒有氣泡、缺陷，表面應平整光潔。對于直接冷卻靶，須注意其在濺射后靶材變薄，有可能破損---是非金屬靶。一般靶材薄處不可小于原靶厚之一半或5mm。
磁控濺鍍操作方式和一般蒸鍍相似，先將真空抽至1×10-2pa，再通入ar氣ar離子轟擊靶材，在5×10-1—1.0pa的壓力下進行濺鍍其間須注意電流、電壓及壓力。開始時濺鍍若有打火，可緩慢調升電壓，待穩定放電后再關shutter.在這個過程中，離子化的惰性氣體ar清洗和暴露該塑膠基材表面上數個毛細微空，并通過該電子與自塑膠基材表面被清潔而產生一自由基，并維持真空狀態下施以濺鍍形成表面締結構，使表面締結構與自由基產生填補和高附著性的化學性和物理性的結合狀態，以在表面外穩固地形成薄膜.其中，薄膜是先通過把表面造物大致地填滿該塑膠毛細微孔后并作鏈接而形成．
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