真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法
真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設備正常工作時,主開關電路中的開關管處于飽和導通狀態,管壓降保持在100v左右,柵極得到正偏壓50v,高壓指示6kv(或10kv)。從檢測電路r21上得到的電壓控制信號不---使d13穩壓管擊穿導通,bg14、bg15、bg16處于截止狀態,而bg11、bg12、bg13處于導通狀態,由bg11輸出一個2.5v左右的高電位。柵壓切換電路上的bg10得到2.5v的電壓控制信號而處于導通狀態,使得bg9的基極電位變為0電位而截止,主開關管通過d6、d7得到正向50v偏置的電壓。同時bg7、bg8也處于導通狀態,d8穩壓管擊穿導通,提供主開關管柵極恒定的電流。由于bg10處于導通狀態,使得簾柵控制電路的bg4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號ur2的控制。當ur2<ud2時,輸出的簾柵壓的大小是隨ur2的變化而變化。
在真空鍍膜設備不正常情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預定值,主開關管處于截止狀態,承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測電路r21取得的過流信號,使得d13穩壓管被擊穿導通,bg14、bg15、bg16處于導通狀態,c13通過bg14、r51放電,使得bg11、bg12、bg13很快截止,bg11輸出為0v。柵壓切換電路上的bg10得到0v的輸入信號而截止,bg9---導通,550v正端通過bg9接到主開關管的陰極,負端通過d5管接到主開關管的柵極,主開關管得到-550v偏壓而進入---截止,此時高壓就沒有指示了。
磁控濺射鍍膜生產線系統設計系統設計的特點
1、生產線采用plc全過程控制,并配有彩色顯示屏,顯示鍍膜工藝過程參數等;
2、實時動畫形式顯示監控磁控鍍膜生產線的工藝流程。磁控鍍膜生產線的設備是密封的,生產時看不見玻璃在真空室里面的運行情況,通過通用組態式監控系統形象的動畫功能來實時反應玻璃在密封真空室里的運行情況,讓現場操作工對整個生產流程了若指掌。
3、系統功能豐富:包括手/自動模式選擇、工藝方案選擇、數據檢測記錄、故障報警記錄、自動診斷保護、操作權限限定等等。系統組成結構圖上位監控系統采用的是通用組態式監控系統,其與下位控制系統的三菱fx2nplc通信方式采用rs-232串行通訊方式。lg變頻器及真空泵、抽氣閥等都是由三菱fx2n-plc來控制,而plc通過一個擴展的232bd模塊與計算機相連。軟件系統完成的主要功能
1、以實時動畫形式監控磁控鍍膜生產線的工藝流程,監控電機、真空泵、抽氣閥等部件的運行狀態;
2、記錄設備運行過程中產生的實---警信息;
3、plc輸入、輸出點實時監控。總結該系統現場運行情況---,數據讀寫速率快,報警功能、設備動作控制等各項功能均達到設計要求,且快速、準確無誤,主畫面上的動畫過程與現場的生產流程配合較好,使用該系統可以非常方便的監控整條生產線的運行。“操作簡單,畫面精美,軟件與設備的通訊性能---,---提升系統形象”通用組態式監控系統軟件---性能給予的評價。
真空鍍膜機工件除氣的---性和真空鍍膜機分類介紹
真空狀態是支持真空鍍膜機運作的環境,---是需要高真空度的設備,通常我們需要達到高真空度,抽氣系統的作用是功不可沒的,但除了抽氣系統外,在真空鍍膜設備運行的過程中,還有一點就是,工件的除氣。
有些工件它本身內部存在著很多的氣體、水分等,這些物質都會隨著設備加熱時被排放到真空室中,降低了真空度,更甚者,有些氣體帶有毒性成分,直接損害到真空室內部機械結構,造成設備不能正常運作。另外,正在鍍膜過程中,由于工件內氣體加熱膨脹,容易使已經鍍上的膜層裂開,當然這個情況出現的機率視工件本身物理性質有關,像塑料等容易膨脹的,機率就比較高,像金屬等硬質的,機率就比較低,但也不能忽視,因此工件的除氣是非常---的。
通常我們使用的工件除氣方法是烘烤,通過加熱把工件內的氣體、水分排出,在鍍膜前,抽氣的同時,對工件進行加熱,當工件內水分和氣體由于加熱而放出后,隨著真空室內的氣體一起被真空泵抽出。
針對不同的工件采取不一樣的除氣措施,有效控制工件內部氣體與水分排放,提高鍍膜的穩定性和均勻性。真空鍍膜機分類和適用范圍真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,mbe分子束外延,pld激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。