早期開發的變壓吸附制氧設備的共同點有以下幾個方面：
1大多采用高于---壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個到四個；
2空氣進入吸附塔前，經過脫水預處理；
3設備---性差，變壓吸附制氧機廠家，不能連續穩定運行，導致大部分設備報廢；
4技術、經濟指標落后。
20世紀90年代是我國變壓吸附制氧技術突飛猛進向前發展的時期，變壓吸附制氧技術逐漸成熟。
制氧機的分類很多，按產品的狀態分為產氣氧、產液氧、既產氣氧又產液氧的制氧機;按產種類類分有單髙產品、---產品(氧和氮)帶制氧機(氧、氮和〕及全提取(氧、氮、及其他稀有氣體，制氧機的操作壓力是由低溫循環系統壓力而決議的。高壓流程的液化循環是以節流為根底的低溫循環;中壓流程的液化循環是以克勞特循環為根底的，而低壓流程的液化循環的根底是卡皮查循環。
制氧機按換熱器類型分，psa變壓吸附制氧機，可分為板式、管式、管板式制氧機。我國目前消費的小型制氧機仍以中壓流程為主。中、大型有蓄冷器或板式切換式換熱器流程還有較---的分子篩純化器及增壓透平收縮機流程。
吸附器內裝填吸附劑，其中水分、---、及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附，隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包括氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產品氣排至氧氣平衡罐。
當該吸附器吸附到一定程度，變壓吸附制氧機，其中的吸附劑將達到飽和狀態，此時通過切換閥利用真空泵對之進行抽真空(與吸附方向相反)，真空度為0.65-0.75barg。已吸附的水分、---、氮氣及少量其它氣體組分被抽出并排至---，吸附劑得到再生。
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