要---硅片厚度的一致性。因?yàn)楫?dāng)研磨時(shí),由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會(huì)不一樣,所以要想---硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時(shí)間時(shí)將行星齒輪片翻轉(zhuǎn)后再進(jìn)行研磨,從而---硅片厚度的一致性,同時(shí)也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進(jìn)行翻車(chē)專(zhuān)為適當(dāng),是要根據(jù)減薄厚度和測(cè)試結(jié)果來(lái)定的。
1.操作簡(jiǎn)單
該設(shè)備采用plc控制系統(tǒng),日本指紋識(shí)別減薄機(jī),通過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn),操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導(dǎo)下,熟練操作設(shè)備。當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí), 屏幕向?qū)?huì)提示出錯(cuò)編碼,易于排除故障。
2.設(shè)計(jì)安全
該設(shè)備的設(shè)計(jì)處處為使用者的安全著想,---操作加工的安全。
3.---精度
磨盤(pán)的進(jìn)給采用微米步進(jìn)電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng),---長(zhǎng)時(shí)間的加工精度。
4.各輪獨(dú)立驅(qū)動(dòng)
磨盤(pán)及工件盤(pán)均采用獨(dú)立的電機(jī),分別采用變頻或伺服控制,轉(zhuǎn)速可任意調(diào)整,且控制簡(jiǎn)便。
5.冷卻水循環(huán)使用
冷卻水箱配有雜質(zhì)過(guò)濾系統(tǒng),冷卻水可循環(huán)使用,即節(jié)約成本,又減少了對(duì)環(huán)境的環(huán)境。一臺(tái)冷卻水箱可同時(shí)連接多臺(tái)設(shè)備。
特點(diǎn)
型號(hào): 全自動(dòng)vrg-300a
型號(hào):hrg-150
1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)固
鑄鐵機(jī)身
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)---
減少晶片表面損傷及翹曲
2. 自動(dòng)尺寸控制系統(tǒng)
3.自動(dòng)修整系統(tǒng)
4. 全自動(dòng)上下料系統(tǒng)
5. 自動(dòng)清洗和干燥系統(tǒng)
6. 可編程操作系統(tǒng)
可存儲(chǔ)20套加工程序,簡(jiǎn)單操作
易于操控
應(yīng)用領(lǐng)域
硅片,碳化硅片,藍(lán)寶石晶圓,金屬,陶瓷,
碳,玻璃,塑料,復(fù)合材料