真空鍍膜工藝中的真空系統也并非單一的真空泵,而是為了獲得鍍膜工藝中所必須的真空度,就需要將不同的泵進行組合使用。一般而言,該組合方式為機械泵、油擴散泵、無油泵組分子泵、冷凝泵、鈦擴散吸附泵、管道閥門冷阱、真空室、冷卻系統和真空測量。真空泵油霧過濾器主要用在旋片式機械泵上面,降低排氣對空氣產生的污染,在機械泵前也有-安裝空濾,防止空氣中的雜質與粉塵進入泵內污染泵油或者造成零部件的磨損。
油擴散泵:機械泵的-真空只有10-2帕,當達到10-1帕的時候,實際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴散泵。
油擴散泵的應用壓強范圍是10-1帕-10-7帕,真空鍍膜價格,它是利用氣體的擴散現象來排氣的,它具有結構簡單,操作方便,抽速大等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成,里面主要添加擴散泵油日本的型號是d-704#,根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。
擴散泵底部內儲存有擴散泵油,真空鍍膜報價,上部為進氣口,右側旁下部為出氣口,在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強,機械泵充當前置泵。
當擴散泵的油被電爐加熱時,產生的油蒸汽提供前置壓強,機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時,產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可噴出一段距離,構成一個向出氣口方向運動的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結為液體,流回蒸發器,即靠油的蒸發——噴射——凝結,重復循環來實現抽氣的。
由進氣口進入泵內的氣體分子,一旦落入蒸汽流中,真空鍍膜多少錢,便獲得向下運動的動量,向下飛去,由于射流具有高的流速約200米/秒,高的蒸汽密度,且擴散泵油具有高的分子量300-500故能有效的帶走氣體分子,因此在射流的界面內,氣體分子不可能長期滯留,且在射流界面的兩邊,被抽氣體有很大的濃度差,正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界面,擴散進入射流中,真空鍍膜,被帶往出口處,在出口處再由機械泵抽走。
擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的-真空的重要因素,因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油,其化學特性要好。
由于油擴散泵是無法有返油的幾率,那么沒有辦法-精密產品的100%純凈,-是半導體行業,所以就有“高真空冷凝泵+低真空機械泵”所組成的無油真空系統,冷凝泵組成的排氣系統不僅排氣效率-,而且有效-真空腔的清潔,-產品的避免產品被污染、增強膜層與基板之間的附著力,但是其維護成本非常的高,造價昂貴,所以普及率沒有油擴散泵廣泛。
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正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。另外,有的真空泵不能在-壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于-壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2bv系列水環真空泵工作壓強范圍760mmhg~25mmhg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩定的工作壓強范圍為760~60mmhg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。
真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的-真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度,選用的真空泵的-真空度至少要2mmhg,1好能達到1mmhg。通常選擇泵的-真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
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