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光刻膠是一大類具有光敏化學作用(或對電子能量敏感)的高分子聚合物材料,是轉移紫外-或電子束曝照圖案的媒介。光刻膠的英文名為resist,又翻譯為抗蝕劑、光阻等。因為光刻膠的作用就是作為抗刻蝕層保護襯底表面。光刻膠只是一種形象的說法,因為光刻膠從外觀上呈現為膠狀液體。
光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。當紫外光或電子束的照射時,光刻膠材料本身的特性會發生改變,經過顯影液顯-,nr29 25000p光刻膠,-的負性光刻膠或未-的正性光刻膠將會留在襯底表面,nr29 25000p光刻膠報價,這樣就將設計的微納結構轉移到了光刻膠上,而后續的刻蝕、沉積等工藝,就可進一步將此圖案轉移到光刻膠下面的襯底上,后再使用除膠劑將光刻膠除去就可以了。
光刻膠按其形成圖形的極性可以分為:正性光刻膠和負性光刻膠。正膠指的是聚合物的長鏈分子因光照而截斷成-分子;負膠指的是聚合物的-分子因光照而交鏈長鏈分子。 -分子聚合物可以被顯影液溶解掉,因此正膠的-部分被去掉,nr29 25000p光刻膠公司,而負膠的-部分被保留。
光刻膠一般由4部分組成:樹脂型聚合物resin/polymer,溶劑solvent,光活性物質photoactive compound,pac,添加劑additive。 其中,樹脂型聚合物是光刻膠的主體,它使光刻膠具有耐刻蝕性能;溶劑使光刻膠處于液體狀態,便于涂覆;光活性物質是控制光刻膠對某一特定波長光/電子束/離子束/x射線等感光,并發生相應的化學反應;添加劑是用以改變光刻膠的某些特性,如控制膠的光吸收率/溶解度等。
注意事項:
若腐蝕液為堿性,則不宜用正性光刻膠;
看光刻機型式,若是投影方式,用常規負膠時氮氣環境可能會有些問題
負性膠價格成本低,正性膠較貴;
工藝方面:負性膠能-地獲得單根線,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;
健康方面:負性膠為有機溶液處理,不利于環境;正性膠屬于水溶液,nr29 25000p光刻膠廠家,對健康、環境無害。
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正性光刻膠和負性光刻膠
光刻膠可依據不同的產品標準進行分類。按照化學反應和顯影的原理,光刻膠可分為正性光刻膠和負性光刻膠。如果顯影時未-部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版相反,稱為負性光刻膠;如果顯影時-部分溶解于顯影液,形成的圖形與掩膜版相同,稱為正性光刻膠。
在實際運用過程中,由于負性光刻膠在顯影時容易發生變形和膨脹的情況,一般情況下分辨率只能達到 2 微米,因此正性光刻膠的應用更為廣泛。