深圳市中圖儀器股份有限公司為您提供3d光學輪廓儀設備。要想測量物體整個區域的表面情況，只能用自動拼接測量功能，但耗時較多。中圖儀器3d光學輪廓儀設備的自動多區域測量功能，能在樣品表面抽取多個測量區域進行測量，從而對樣品進行評估分析。
中圖儀器3d光學輪廓儀設備是一款用于超精密加工領域的光學檢測儀器，其分辨率可達0.1nm。以白光干涉技術為原理、結合精密z向掃描模塊、3d 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3d圖像，通過系統軟件對器件表面3d圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面的2d、3d參數，從而實現器件表面形貌3d測量。
技術參數
產品型號：superview w1系列
產品名稱：光學3d表面輪廓儀
影像系統：1024×1024
光學zoom：0.5×，0.75×，1×可選
干涉物鏡：10×，2.5×，5×，20×，50×，100×可選
xy平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
z軸行程：100mm，電動
z向掃描范圍：10mm
z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-100
水平調整：±5°手動
粗糙度rms重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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3d光學輪廓儀設備可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3c電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、mems器件等超精密加工行業及航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據iso/asme/eur/gbt四大標準共計300余種2d、3d參數作為評價標準。
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