成都超邁光電科技有限公司為您提供復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī)。設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機(jī)械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。
真空腔體:φ650x700雙層水冷;可根據(jù)實際需求定制
真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng);
真空抽速:1600l/s,進(jìn)口全量程復(fù)合真空計,全金屬防爆真空規(guī);
磁控靶組件:4個矩形靶,3個圓形靶,根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源;
離子源:1套線性離子源,匹配---電源;
氣路:4路反應(yīng)氣體,進(jìn)口流量計,1路毛細(xì)保護(hù)氣路;
烘烤溫度:300℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu);
工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套,工件盤裝夾移動小車一輛;
控制系統(tǒng):西門子plc+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計算機(jī)
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