成都超邁光電科技有限公司為您提供復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī)。設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機(jī)械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。
真空腔體：φ650x700雙層水冷；可根據(jù)實際需求定制
真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；
真空抽速：1600l/s，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計，全金屬防爆真空規(guī)；
磁控靶組件：4個矩形靶，3個圓形靶，根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
離子源：1套線性離子源，匹配---電源；
氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口流量計，1路毛細(xì)保護(hù)氣路；
烘烤溫度：300℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；
工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動小車一輛；
控制系統(tǒng)：西門子plc+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計算機(jī)
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