EBPVD復合鍍膜機

成都超邁光電科技有限公司為您提供ebpvd復合鍍膜機。形式：箱式一體機，立式前開門，蒸發室和抽氣室為整體焊接式，一體機系統。
真空系統：真空5x10-4pa，主泵為復合分子泵。
真空測量：配三路數字復合真空計，均采用安全防爆金屬測量規。
工件架系統。客戶需求定制，配置可擴展4英寸、3英寸、2英寸基片的---互換工裝，轉速3～30rpm變頻可調，工件盤為球形和行星工件盤可選，行星工件盤成本較高。
烘烤系統。不銹鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和pid控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過沖不超過2℃。
電子束蒸發源。e型電子束蒸發源系統(e型)1套，主體有屏蔽罩，單槍、單電源、單掃描，配置獨立高壓控制柜。選配或必須配置
坩堝：坩堝1套，電動轉位和點動轉位，配置無氧銅坩堝一套。
電阻蒸發源：2套電阻蒸發源。選配或主配
膜厚測試系統。配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統， rs-232 和 usb兼容，匹配水冷膜厚探頭。選配
離子源:一套選配離子源或高壓離子轟擊系統
控制系統：成熟---的真空鍍膜控制系統，西門子工業級10英寸觸摸屏和plc，能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統，采用聲光報警。
說明：根據用戶要求，公司愿與客戶聯合研發，共享---，公司致力于工藝與設備---匹配
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