成都超邁光電科技有限公司為您提供ebpvd復合鍍膜機。形式:箱式一體機,立式前開門,蒸發室和抽氣室為整體焊接式,一體機系統。
真空系統:真空5x10-4pa,主泵為復合分子泵。
真空測量:配三路數字復合真空計,均采用安全防爆金屬測量規。
工件架系統。客戶需求定制,配置可擴展4英寸、3英寸、2英寸基片的---互換工裝,轉速3~30rpm變頻可調,工件盤為球形和行星工件盤可選,行星工件盤成本較高。
烘烤系統。不銹鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和pid控制模塊,烘烤溫度300℃,溫控精度1℃,過沖不超過2℃。
電子束蒸發源。e型電子束蒸發源系統(e型)1套,主體有屏蔽罩,單槍、單電源、單掃描,配置獨立高壓控制柜。選配或必須配置
坩堝:坩堝1套,電動轉位和點動轉位,配置無氧銅坩堝一套。
電阻蒸發源:2套電阻蒸發源。選配或主配
膜厚測試系統。配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統, rs-232 和 usb兼容,匹配水冷膜厚探頭。選配
離子源:一套選配離子源或高壓離子轟擊系統
控制系統:成熟---的真空鍍膜控制系統,西門子工業級10英寸觸摸屏和plc,能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程;支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統,采用聲光報警。
說明:根據用戶要求,公司愿與客戶聯合研發,共享---,公司致力于工藝與設備---匹配
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