青島賽爾微電子有限公司為您提供擴(kuò)散爐爐體 lpcvd改造 設(shè)備翻新。爐體主要用于半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式擴(kuò)散爐的加熱裝置，采用---的加工工藝，并選用進(jìn)口材料，制作而成。可與美國tempress、美國tyan、美國thermco、荷蘭asm、英國btu、日本tel等國外多種型號擴(kuò)散爐配套替代進(jìn)口，
爐體技術(shù)指標(biāo)
1.1滿足3"～12"立式、臥式擴(kuò)散爐
1.2保溫材料：英國摩根進(jìn)口保溫層
1.3絕緣材料：高純99瓷絕緣子
1.4端口：真空成型保溫材料
1.5加熱段數(shù)：3～7段加熱
1.6口徑：φ80mm～φ450mm
1.7使用溫度：200℃～1300℃
1.8恒溫區(qū)：100～1200mm
1.9單點穩(wěn)定性: ≦±0.5℃／24h
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