質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每1-2小時校驗。檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數量級。首先將設備穩固的置于明亮、透風---的場所,連接好檢漏用管路及壓力表,應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。檢漏主要領域:電力工業——高壓開關、避雷器、發電廠冷凝器系統;電力工業——電子器件、半導體、傳感器和積成電路;。
檢漏步驟為:---壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9。9x10-4pa。m3/s的較大漏點,檢漏步驟為:。用內徑0。5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍,會很快發現漏點,這時發現的漏點都較大,然后應立即焊接處理或用封泥封堵,-旦封堵成功,真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。第二遍檢漏,進行第二遍檢漏時速度要較一遍慢些,重點檢查表面不規整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與---壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。
檢漏儀使用---氣作為示蹤氣體,---是單原子稀有氣體分子,在空氣中的含量少(5。2ppm),無色、無味,常溫下為氣態的惰性氣體,極不活潑,既不能燃燒,也不助燃,化學性能穩定。在檢測器件的密封性能時,遇到器件大漏時,---過濾器測漏,有大量的---氣進入檢漏儀,短時間內儀器內部---氣難以清除,造成儀器的本底升高,儀器的檢測靈敏度降低,影響儀器的再次檢測精度。