激光脈沖沉積裝置-沈陽鵬程真空技術公司

脈沖激光沉積系統的配置介紹

沈陽鵬程真空技術有限責任公司生產、銷售脈沖激光沉積，我們為您分析該產品的以下信息。

1.靶: 數量6個，大小1-2英寸，被激光照射時可自動旋轉，靶的選擇可通過步進電機控制;

2.基板:采用適合于氧氣環境鉑金加熱片，大小2英寸，加熱溫度可達1200攝氏度，溫度差<3%，加熱時基板可旋轉，工作環境的壓力可達300mtorr;

3.基板加熱電源，高到1200度;

4.真空成膜室腔體:不銹鋼sus304材質，內表面電解拋光，本底真空度<5e-8 pa;

5.樣品搬運室:不銹鋼sus304材質，內表面電解拋光，本底真空度<5e-5 pa;

6.排氣系統:分子泵和干式機械泵;

7.閥門: 采用真空擋板閥;

8.真空檢測:真空計;

9.氣路兩套: 采用氣體流量計控制;

10.薄膜生長監控系統: 采用掃描型差分rheed;

11.監控系統:基板溫度的監控和設定，基板和靶的旋轉，靶的更換等;

12.各種電流導入及測溫端子;

13.其它各種構造:各種真空位移臺，磁力傳輸桿，真空法蘭，真空密封墊圈，真空用波紋管等;

pld450型脈沖激光鍍膜介紹

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司生產脈沖激光沉積，歡迎新老客戶蒞臨。

技術指標：

---真空度：≤6.7×10 pa　　

恢復真空時間：從1×10 pa抽至5×10 pa≤20min　　

系統漏率：6. 7×10-7pa.l/s；　　

真空室：ф450球型真空室 ，　　

基片尺寸：可放置4″可實現公轉換靶位描等基片加熱可連續回轉，轉速5-60轉/分基片與蒸發源之間距離300-350mm可調。　　

二維掃描機械平臺，執行兩自由度掃描，激光脈沖沉積裝置多少錢，控制的內容主要有公轉換靶、靶自轉、樣品自轉、樣品控溫、激光束掃，

流量控制器1路　　

烘烤溫度：150℃數顯自動熱偶控溫高溫爐盤，數顯自動熱偶控溫可加熱到800℃