影響因素
硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力;
壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力;
涵養量-拋光墊的涵養量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的;
粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度,;
密度-密度是拋光墊材料的致密程度;拋光皮
化學機械拋光液一般由去離子水、 磨料、ph值調節劑、氧化劑以及分散劑等添加劑組成,拋光液配方,根據ph值不同, 分為酸性和堿性。
化學拋光液及其組分的作用.
1磨料
磨料在拋光過程中主要通過微切削、微劃擦、滾壓等方式作用于工件被加工表面,去除表面材料。的化學機械拋光過程是磨料的機械去除表面材料
厚度等于化學反應生成物層厚度,馬鞍山拋光液,此時,磨粒只需較小的機械作用去除結合力較弱的化學反應層的生成物,可減少或避免拋光表面缺陷。磨料的硬度、粒
徑形狀及其在拋光液中的濃度等綜合因素決定了磨粒的去除行為和能力。