由于真空系統的多樣性，檢漏方法也各式各樣，廠家也設計制造了許多專門用于檢漏的儀器真空檢漏儀。選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，氣密檢測儀設備，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w，而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13w；
檢漏儀為氣體工業名詞術語，用---氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測---氣而進行檢漏的質譜儀。---氣檢漏儀特有的清---系統，---地清除超標的---本底，---檢測的穩定性和準確性；實時監測---氣壓力和濃度，---了工件檢測的精度；檢漏儀設備內芯制造借鑒國外技術，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動檢漏儀。
檢漏儀全無油的干式檢漏：有些生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。檢漏儀是用---氣作示漏氣體，以氣體剖析儀檢測---氣而進行檢漏的質譜儀。---氣作為一種惰性氣體，對設備無腐蝕性，對容器環境和質譜環境干擾小，因此常作為漏氣體使用。消費者在選購檢漏儀時必須要注意這種儀器自身的能力和消費的需求，并且在挑選檢漏儀時注意這種設備的價格和操作模式，
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