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入口法蘭dn100iso-k，愛德華分子泵故障維修，dn100cf
出口法蘭kf25
抽速n2240l/she230l/sh2165l/s
壓縮比n2>;1×1011he3×105h21×104
---真空iso/cf，rv前級泵<6×10-8/<5×10-10 mbar
前級泵*rv12/nxds10i
放氣口1/8英寸bsp母螺紋
吹掃口1/8英寸bsp母螺紋
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