外延片制作出來(lái)以后,就可以按照下面的流程來(lái)制作
外延片***清洗***鍍透明電極層***透明電極圖形光刻***腐蝕***去膠***平臺(tái)圖形光刻***干法刻蝕***去膠***窗口圖形光刻***去膠***n極圖形光刻***預(yù)清洗***鍍膜***剝離***p 極圖形光刻***鍍膜***剝離***研磨***切割***芯片***成品測(cè)試。
在生長(zhǎng)完外延片后,下一步就開(kāi)始對(duì) led 外延片做電極p 極,n 極,接著就開(kāi)始用激光機(jī)切割 led 外延片以前切割 led 外延片主要用鉆石刀,制造成芯片,然后在晶圓上的不同位置抽取九個(gè)點(diǎn)做參數(shù)測(cè)試,看看是否合格。
從上面可以看到 led 外延片和芯片的生產(chǎn)離不開(kāi) mocvd 、光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、減薄機(jī)、劃片機(jī)、檢測(cè)設(shè)備等高i精尖設(shè)備。 led 芯片產(chǎn)業(yè)屬于重資產(chǎn)行業(yè),從事該行業(yè)需要先重金購(gòu)買(mǎi)---的生產(chǎn)設(shè)備,還需要配置潔凈無(wú)塵廠房,同時(shí)在各個(gè)環(huán)節(jié)還需要大量的工人。所以該行業(yè)是典型的:資金密集型、勞動(dòng)密集型和技術(shù)密集型同時(shí)具備的產(chǎn)業(yè)。
經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,中國(guó)
據(jù)---了解,目前,隨著半導(dǎo)體照明工程的啟動(dòng),led產(chǎn)業(yè)發(fā)展“一頭沉”的狀態(tài)正在發(fā)生改變,led上游產(chǎn)業(yè)得到了較快發(fā)展,其中芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展為引人注目。但從產(chǎn)業(yè)規(guī)模看,封裝仍是led產(chǎn)業(yè)中產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)。2006年我國(guó)led產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值達(dá)到105.5億元,其中封裝產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值達(dá)87.5億元。王瑩分析認(rèn)為,不斷擴(kuò)大的市場(chǎng)需求以及的大力支持是---led產(chǎn)業(yè)發(fā)展的有利因素。近幾年,諸如顯示屏、景觀照明、交通指示燈、汽車(chē)應(yīng)用、背光源等led應(yīng)用市場(chǎng)迅速興起。新興應(yīng)用市場(chǎng)對(duì)led發(fā)光效率要求的不斷提升催生了對(duì)中產(chǎn)品的需求。隨著市場(chǎng)需求的增大,led芯片產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品升級(jí)步伐逐漸加快,led芯片產(chǎn)品將整體走向。另一方面,led封裝產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,也為led芯片提供了廣闊的市場(chǎng)需求,進(jìn)而為led產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了---的外部環(huán)境。
50年前人們已經(jīng)了解半導(dǎo)體材料可產(chǎn)生光線的基本知識(shí),1962年,通用電氣公司的尼克?何倫亞克(nickholonyakjr.)開(kāi)發(fā)出第壹種實(shí)際應(yīng)用的可見(jiàn)光發(fā)光二極管。
蕞初led用作儀器儀表的指示光源,后來(lái)各種光色的led在交通信號(hào)燈和大面積顯示屏中得到了廣泛應(yīng)用,潮州led芯片,產(chǎn)生了---的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。以12英寸的紅色交通信號(hào)燈為例,在美國(guó)本來(lái)是采用長(zhǎng)壽命、低光效的140瓦白熾燈作為光源,它產(chǎn)生2000流明的白光。經(jīng)紅色濾光片后,光損失90%,只剩下200流明的紅光。而在新設(shè)計(jì)的燈中,lumileds公司采用了18個(gè)紅色led光源,包括電路損失在內(nèi),共耗電14瓦,即可產(chǎn)生同樣的光效。汽車(chē)信號(hào)燈也是led光源應(yīng)用的重要領(lǐng)域。