真空腔體優(yōu)勢及特性
——按照客戶要求，加工訂制；
——---出圖設(shè)計；
——可配套真空機組系統(tǒng)；
——耐高溫、耐腐蝕；
——高、；
加工工藝，完全采用真空焊接技術(shù)拼裝焊接；
---的真空撿漏設(shè)備，真空腔體加工，---產(chǎn)品的---性；
真空主要應(yīng)用在離子鍍膜、高真空半導(dǎo)體設(shè)備、實驗室設(shè)備等對環(huán)境要求---的真空領(lǐng)域。
我公司采用三維建模軟件，臥式真空腔體加工，按照實際比例建立3d模型，根據(jù)客戶文字、語言草圖等需求表述，設(shè)計出適合客戶所需產(chǎn)品方案在方案定稿之前所有設(shè)計不收取任何費用。
為了生產(chǎn)出匹配客戶需求的產(chǎn)品，真空腔體加工，需要告知我公司以下幾個問題點：
1、產(chǎn)品在使用過程中是否有溫度產(chǎn)生，高溫和低溫分別是多少攝氏度，是否需要通水或液氮冷卻等內(nèi)外在因素。
2、對產(chǎn)品材質(zhì)是否有特殊要求，真空領(lǐng)域腔體常用材質(zhì)為：碳鋼、鋁、304不銹鋼、316不銹鋼等
3、產(chǎn)品的鏈接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等
4、腔體真空度的要求，大型真空腔體加工，腔體抽完真空以后是否需要沖入保護氣體或其他氣體。
通常常見真空腔體技術(shù)性能：
材質(zhì)：304不銹鋼或客戶材質(zhì)。
腔體適用溫度范圍：-190℃~+1500℃需加水冷卻
密封方式：氟膠“o”型圈或金屬無氧銅密封圈
出廠檢測事項：
1、真空漏率檢測：標準檢測漏率：1.3*10-8pa●l/s
2、水冷水壓檢測：標準檢測壓力：8公斤24小時無泄漏檢測。
內(nèi)外表面處理：拉絲拋光處理、噴砂電解處理、酸洗處理、電解拋光處理和鏡面拋光處理等。
中國半導(dǎo)體真空腔體市場近幾年快速發(fā)展，越來越多的公司也表達了進入芯片領(lǐng)域的興趣.以存儲芯片為例，以前中國國內(nèi)存儲芯片完全靠進口，今年福建晉華集成電路的內(nèi)存生產(chǎn)線有望投產(chǎn)，另外長江存儲科技公司也在建設(shè)內(nèi)存和閃存芯片生產(chǎn)線.格力、康佳等傳統(tǒng)家電企業(yè)也表示，將進入芯片領(lǐng)域.
據(jù)國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會報告顯示，中國目前正在天津、西安、北京、上海等16個地區(qū)打造25個fab建設(shè)項目，福建晉華集成電路、長江存儲科技公司等企業(yè)技術(shù)水平雖不及韓國，但均已投入芯片量產(chǎn).報告預(yù)測，今年中國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模有望達118億美元，實現(xiàn)同比43.9%的增長，并且明年市場規(guī)模有望擴大至173億美元，增長46.6%，成為大市場.而同一時期內(nèi)韓國的半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模從179.6億美元減少至163億美元，減幅為9.2%.中國---韓國成為很大半導(dǎo)體設(shè)備市場.
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率、放氣率低和導(dǎo)熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點，在高真空和真空系統(tǒng)中，應(yīng)用較廣。
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。真空系統(tǒng)的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表面處理。
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