當泵出現故障時泵能自動停車，兩個閥門一齊關閉或截流閥關閉。動力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，真空泵維修，以滿足監控過程的需要。動力電源、繼電器用以對馬達的接通與斷開及馬達超負荷的保護。操作過程有顯示器，有按鈕控制，可控制
馬達、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥，第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，凈化氣體向軸封處通氣用的
閥門等。故障的監控報警或停車，系統安全自動控制，也可按鈕控制。啟動時，打開凈化氣體，泵正常運行3min，凈化氣體向各段
涌入，通凈化氣體對泵性能有些影響。每當遇到緊急情況可按自動停車鍵，凈化氣體繼續接通，關閉入口防返流閥，各級泵凈化
1min，凈化結束，馬達再停車，荏原真空泵維修，關閉惰性氣體截止閥。
1.定時查看油位是否符合干油標線。如果比較低，那么要進行加油，不然就會影響真空泵的真空度。油量也不要太多，蘿茨真空泵維修，不然也不好。
2.真空泵維修要多關注真空泵運轉正不正常，有沒有特殊聲響，設備有沒有超負荷運轉，電機積真空泵的溫開高不高。
3.用水冷卻的真空泵，要避免冷卻水中斷，真空泵溫不能高于70度。若環境溫度比5度低，停機后應將真空泵內冷卻水放凈，以防真空泵體凍裂。
4.真空泵要保持清潔，并不能放其它物件。
5.真空泵維修注意皮帶松緊是不是適當.-時應調整或更換。
6.每年定期更換了1~3次真空泵油。
目前有兩代渦旋泵產品。代產品由于軸承密封隔離不是-，不能做到完全無油，故不使用。第二代產品是單級渦旋設計。只有一個軸承，軸承與真空腔隔離，完全無油。并且裝有控制系統，可變頻控制0、50、60、70hz，故性能較好。產品不需要維修，2～3年更換密封件，維護方便、簡單，具有較強的抽水蒸氣能力。boc公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右。美國varian公司:美國varian公司1998年開發了渦旋泵，到目前已有三代渦旋泵產品。代產品已基本停產。第二通過技術改進，形成了風格的二級設計:級是三渦旋線同時抽氣，可提高抽速，工作在從-壓到5．5×104pa;第二級是單渦旋線，從5．5×104pa到-。一、二級同時工作，是真正的(從壓力角度區分的)兩級泵。第三代產品是在第二代產品上增加了控制系統。varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產品，作為分子泵的前級主泵，不需要維修，真空泵維修技術，2～3年更換密封件，維護方便、簡單，因此在我國銷量達100臺/年以上。
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