化學(xué)機械拋光液一般由去離子水、 磨料、ph值調(diào)節(jié)劑、氧化劑以及分散劑等添加劑組成，根據(jù)ph值不同， 分為酸性和堿性。
化學(xué)拋光液及其組分的作用.
1磨料
磨料在拋光過程中主要通過微切削、微劃擦、滾壓等方式作用于工件被加工表面，去除表面材料。的化學(xué)機械拋光過程是磨料的機械去除表面材料
厚度等于化學(xué)反應(yīng)生成物層厚度，氧化鋁拋光液，此時，磨粒只需較小的機械作用去除結(jié)合力較弱的化學(xué)反應(yīng)層的生成物，可減少或避免拋光表面缺陷。磨料的硬度、粒
徑形狀及其在拋光液中的濃度等綜合因素決定了磨粒的去除行為和能力。
為滿足芯片微型化、高密度化、高速化、高數(shù)字化和系統(tǒng)集成化的要求，對芯片直徑、平坦化、線寬和金屬互連層數(shù)提出了更高要求，這也對晶片的精密加工提出了更高要求。
半導(dǎo)體晶圓(芯片)加工工藝流程如圖1所示。
由于-集成電路(ulsi)向高度集成和多層布線發(fā)展，化學(xué)機械拋光、平坦化已成為集成電路制造不可缺少的關(guān)鍵工藝。它不僅是硅晶圓加工中終獲得納米光滑、無損傷表面的有效方法，也是芯片多層布線中-的層間局域平坦化方法。
三.拋光液檢測之優(yōu)點分析
1、 增加生產(chǎn)量，操作人員不再需要中斷拋光工作，電拋光液，可以自動的控制拋光液的噴涂，
2、節(jié)省操作時間，提高產(chǎn)能。
3、節(jié)省清洗時間，嘉興拋光液， 拋光液是水性的配方，拋光后工程的清洗工序更容易，可以節(jié)省的清洗時間
4、拋光輪壽命增加，噴涂液體研磨劑對研磨輪之輪緣表面溫度有冷卻作用，
5、大大減低研磨輪的損耗，從而增加研磨輪的壽命。
6、增加產(chǎn)品的穩(wěn)定性能， 避免了人手操作的不確定性。
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