影響因素
硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力；
壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力；
涵養(yǎng)量-拋光墊的涵養(yǎng)量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的；
粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度，；
密度-密度是拋光墊材料的致密程度；拋光皮
拋光液中常常添加一些化學試劑用于調(diào)節(jié)拋光液的ph值，惠州拋光布，以-拋光過程化學反應的進行，化學機械拋光拋光液一般分 為酸性和堿性兩大類。
酸性拋光液早是由化學腐蝕液改進而來的，具有溶解性強、氧化劑選擇范圍大拋光等優(yōu)點，常用于金屬材料的拋光。酸性拋光液的ph值-般
為4左右，可通過加入有機酸作為ph調(diào)節(jié)劑。其缺點是腐蝕性強，對拋光設(shè)備要求高， 選擇性較低，但是可加入抗蝕劑-并來提高其選擇性，拋光布的使用，不過
bta的引入會影響拋光液的穩(wěn)定性。
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