拋光墊其表面結(jié)構(gòu)起到很重要的作用，其中的作用是影響著拋光墊儲(chǔ)存、運(yùn)送拋光液的能力和表面局部應(yīng)力梯度等，下面小福給大家講解下拋光墊的表面結(jié)構(gòu)，拋光液作用，讓大家了解拋光墊表面結(jié)構(gòu)不同的作用。
拋光皮具有平整型和帶有不同溝槽型的表面結(jié)構(gòu)，拋光液廠家，福吉常規(guī)開(kāi)槽有網(wǎng)格型，圓圈型，螺旋形、等形狀不同形狀的溝槽起到不同的拋光---。
依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué).半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等， 對(duì)硅單品片化學(xué)機(jī)械拋光( cmp )機(jī)
理、動(dòng)力學(xué)控制過(guò)程和影響因素研究標(biāo)明，拋光液，化學(xué)機(jī)械拋光液是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng) ，它存在著兩個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程:
(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。
(2 )拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面，即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單品重新出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋-率的另一個(gè)重要過(guò)程。
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