沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。
1、樣品臺：水冷樣品座，樣品座高度可調(diào)，便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍：樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.
2、電子槍：電子槍功率6kw可調(diào)滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā)4穴水冷坩堝適用于對多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好。為保持e型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性，配制-束流掃描控制器，具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式，方便于操作、實驗數(shù)據(jù)積累。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯，以適應(yīng)不同材料，-蒸發(fā)速率穩(wěn)定性，高真空電子束鍍膜機，重復(fù)性.
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電子束蒸鍍是利用加速電子轟擊鍍膜材料，電子的動能轉(zhuǎn)換成熱能使鍍膜材料加熱蒸發(fā)，并成膜。電子槍有直射式、環(huán)型和e型之分。電子束加熱蒸鍍的特點是能獲得-的能量密度，高真空電子束鍍膜機報價，可達(dá)109w/cm2，高真空電子束鍍膜機廠家，加熱溫度可達(dá)3000～6000℃，可以蒸發(fā)難熔金屬或化合物;被蒸發(fā)材料置于水冷的坩堝中，可避免坩堝材料的污染，制備高純薄膜；另外，由于蒸發(fā)物加熱面積小，因而熱輻射損失減少，熱效率較高。但結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，且對較多的化合物，由于電子的轟擊有可能分解，故不適合多數(shù)化合物的蒸鍍。
電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務(wù)必-水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?
電子槍起動真空度6.7×10-3pa。?
蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6a，預(yù)熱時間新陰極5分鐘以上應(yīng)緩慢調(diào)至0.6a，以防陰極變形，舊陰極2分鐘即可。?
蒸發(fā)前對材料先預(yù)熱除氣。?
蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板***關(guān)閉高壓***燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6a的位置***關(guān)閉束-節(jié)電源并調(diào)至低位置***關(guān)閉磁場電源，溫州高真空電子束鍍膜機，工作時操作順序與此順序相反。?
電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣
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