電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)廠家-沈陽鵬程-安陽電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的系統(tǒng)裝置介紹

1、系統(tǒng)自動監(jiān)控和保護(hù)功能強(qiáng)，包括斷水報警、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)等。

2、分子篩吸附裝置，避免機(jī)械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。

3、膜厚監(jiān)測及控制系統(tǒng)，可在線監(jiān)測及控制膜層厚度，電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)廠家，膜厚儀與基片擋板聯(lián)動，形成閉環(huán)控制。采用晶振膜厚儀

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電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備介紹哪些性能？

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真空測量：采用數(shù)顯復(fù)合真空計兩只電阻規(guī)測量低真空，一只電離規(guī)測量高真空， 測量范圍為1×105pa —1×10-5pa。

斷水報警、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)。