真空泵應(yīng)先開動水環(huán)泵
真空泵羅茨泵機組中無旁通閥時，應(yīng)先開動水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵氣體推進羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動，好像流量計普通進入水環(huán)泵后再排至-，待水環(huán)泵的吸入壓力如串聯(lián)有-泵，則為-泵的吸入壓力到達羅茨泵的起初規(guī)則值時即允許排氣壓力，始啟動羅茨泵，機組正式運轉(zhuǎn)，開端工作。東莞真空泵羅茨泵機組中有旁通閥時，如上圖所示，先啟動水環(huán)泵，接著開動羅茨泵，此時，羅茨泵進排氣壓差較大，旁通閥自動開啟，被抽容器中的氣體一局部經(jīng)過旁通閥進入水環(huán)泵，另一局部在羅茨泵的作用下經(jīng)過該泵也進入水環(huán)泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快到達羅茨泵的預(yù)真空，進排氣壓差較小，閥門自動關(guān)閉或人工關(guān)閉，機組正式工作。這種辦法能大大縮短預(yù)抽時間，但設(shè)備較復(fù)雜。
無油真空泵近年來解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題，國內(nèi)很多企業(yè)也啟動了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無油真空泵的探索，在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃，如在基礎(chǔ)技術(shù)、激勵機制、技術(shù)推廣、市場開拓規(guī)劃的調(diào)整等，這些舉措都為鋪展市場做好了基礎(chǔ)。
無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動等基礎(chǔ)性、共性問題，還使系統(tǒng)制造與運行成本降低。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中，如果應(yīng)用普通旋片油泵，會產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題，而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現(xiàn)。為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子，還要在系統(tǒng)運行中，定期清洗除油，增加了成本運行。因此，無油渦旋真空泵確實具有未來深廣的發(fā)展前景，舟山真空泵，是著重商業(yè)化的對象。
國內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測試行業(yè)迫切需要無油污染的真空環(huán)境，無油真空泵的研發(fā)不僅推動了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì)，還為我國其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒，帶動了整個真空獲得行業(yè)的-能力和技術(shù)標準。
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