1、---在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm)， 在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也
就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。
2、---的小(相對(duì)分子為4)，易于穿過(guò)漏孔。這樣，---較除氫以外的其他氣體通過(guò)同-漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。
1、對(duì)被檢工件充注高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗(yàn)；
2、對(duì)被檢工件抽真空；
3、對(duì)被檢工件充注---氣；
4、真空箱法---質(zhì)譜檢測(cè)，電池---檢漏設(shè)備生產(chǎn)廠家，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格；
5、回收并循環(huán)使用---氣；
6、如果---氣浪費(fèi)---，可以將使用過(guò)程中濃度不合格的---氣進(jìn)行提純
7、plc控制，觸摸屏操作，自動(dòng)檢測(cè)。
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選擇示漏氣體(示蹤氣體的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全---；價(jià)格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇---氣作示蹤氣體，電池---檢漏設(shè)備保養(yǎng)，主要原因如下：
1、---在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少在空氣中約含5.2ppm，在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，電池---檢漏設(shè)備定制，靈敏度高。
2、---的小相對(duì)分子為4，易于穿過(guò)漏孔。這樣，---較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，電池---檢漏設(shè)備，靈敏度高。
3、---是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。
4、在---兩側(cè)的是氫質(zhì)荷比為2和雙電荷原子碳質(zhì)荷比為6，質(zhì)荷比都與---相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開(kāi)，定標(biāo)找---峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的---離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。
5、---在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使---信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能如小、易通過(guò)漏孔比---還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底-且波動(dòng)大，以致靈敏度大-低，所以很少采用。
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