由這種空穴作用而產生的液體流動和數以萬計的高壓真空氣泡瞬間時產生的能量,不斷地沖擊被清洗物表面,使表面及縫隙中的污垢迅速剝落。但在常壓狀態下,清洗劑中溶解的空氣粒子遇到超聲波時產生氣泡,超聲波的空穴作用會被大幅度衰減,清洗效果被減弱。在真空狀態下,清洗劑中的氣體會被脫出,從而避免了超聲波的衰減。
排除工件表面和孔隙中的空氣,提高清洗效果。在傳統清洗中,清洗效果不理想常常是因為盲孔、粗糙表面和細小縫隙中的空氣不能排出,影響清洗劑的浸潤,產生清洗盲區。應用真空技術后,可使部件表面、縫隙和盲孔內的空氣全部排出,使清洗劑完全浸入工件的每個部位,使工件的各個部位都達到的清洗效果。對于構造復雜、盲孔較深的工件,通過兩次以上的抽真空和排氣過程,也可以將空氣全部排出。所以在真空狀態下,清洗效果要比常壓下-。