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凈化技術的設備發展
  對于半導體設備來講,凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的是集成電路,而集成電路的生產對其工藝環境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發展以微電子為重點的信息產業。凈化工程技術水平在某種-已成為衡量一個和地區科學技術水平和工業水平的一個重要標志。
 
  凈化工程解決方案:各種不同的加濕器的應用范圍不同:如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,潔凈室工程,其特點是加濕量大、投資費用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴格(>;±10%),加濕量很大的工業廠房和一般舒適用空調房間的空調系統加濕。而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕潔凈室的空調系統加濕中。
凈化工程中空氣凈化處理方案:
  凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,潔凈室,均應采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,萬級潔凈室,可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。
  空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段;高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端,高1效空氣過濾的安裝方式應簡便-,宜檢漏和更換;中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。
 
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