部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源,氣壓很低, 用普通mfc, 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商-聲明, 定制低壓降的流量控制器。通?梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀0.01mpa的mfc, 這時(shí)mfc的工作壓差范圍, 也會(huì)變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí),流量計(jì)控制模塊, 不能讓汽化物在mfc中結(jié)露, 結(jié)露會(huì)影響mfc的正常工作。為了防止結(jié)露,流量計(jì)控制模塊公司, 可以對(duì)管路和mfc適當(dāng)加溫, 但mfc的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要mfc的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫mfc產(chǎn)品。
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流量控制器可以用于控制各種氣體,流量計(jì)控制模塊報(bào)價(jià), 包括腐蝕性氣體和特殊氣體,流量計(jì)控制模塊廠家, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成-損失。
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氣體流量單位一般以sccmstandard cubic centimeter per minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升和slmstandard liter per minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325pa (760mm hg); 溫度—0℃ (27-k)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之處。
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