超聲波清洗機(jī)，是由上料、超聲初洗、超聲波清洗、市水超聲漂洗、噴淋漂洗、熱風(fēng)烘干、下料等七個工位組成的一條吊臂式超聲波清洗機(jī)，其工作原理是利用超聲波空化滲透力強(qiáng)的機(jī)械振動沖擊工件表面并結(jié)合溶劑型清洗劑的化學(xué)除油、去污作用使工件表面潔凈；同時結(jié)合熱風(fēng)烘干等工藝，使工件從清洗到潔凈一次完成。
化學(xué)清洗槽也叫酸槽/化學(xué)槽，主要有hf，h2so4，h2o2，hcl等酸堿液體按一定比例配置，多晶刻蝕清洗，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子，去原子，后還有di清洗。ipa是，多晶刻蝕設(shè)備，就是工業(yè)酒精，是用來clean機(jī)臺或parts的，是為了減少partical的。
在硅片的清洗過程中，清洗液的溫度是一個關(guān)鍵因素。合適的清洗溫度能夠加快油污的去除，得到較佳的清洗效果。當(dāng)硅片浸到清洗液中，硅片上的油污產(chǎn)生膨脹，油污內(nèi)部以及油污與硅片之間的作用力減弱，溫度越高，油污膨脹越大，這種作用力就越弱，表面活性劑分子越容易將油污撬離硅片表面。同時，溫度的變化可導(dǎo)致膠束本身性質(zhì)和被增溶物在膠束中溶解情況發(fā)生變化。聚氧乙烯型表面活性劑的聚氧乙烯鏈ch2ch2on在水中產(chǎn)生水合作用，與水分子中的氫形成氫鍵。溫度升高，氫鍵減弱，泰州多晶，有的甚至斷裂，水合作用減小，膠束易于形成，膠束的-數(shù)亦-地增加，對油脂等污染物的增溶量增大，這種情況有利于硅片的清洗。當(dāng)溫度升高到60℃左右時，聚氧乙烯鏈ch2ch2on加速脫水并產(chǎn)生卷縮，使膠束起增溶的空間減小，增容能力下降，清洗液由透明變成乳濁液，這一溫度稱做溶液的濁點(diǎn)溫度。只有溫度接近表面活性劑溶液的濁點(diǎn)溫度時，增溶能力較強(qiáng)，因而清洗液的溫度定在60℃比較合理。
edc 系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單試劑滴膠按照蝕刻，開發(fā)和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗通常是去離子水或溶劑，然后干燥通常是氮?dú)獾群竺娴奶幚聿襟E。蝕刻/顯影/清洗全套系統(tǒng)采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在完全干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨(dú)立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。
化學(xué)清洗槽也叫酸槽/化學(xué)槽，主要有hf，h2so4，h2o2，hcl等酸堿液體按一定比例配置，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子，去原子，后還有di清洗。ipa是，多晶清洗臺，就是工業(yè)酒精，是用來clean機(jī)臺或parts的，是為了減少partical的。
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