流量控制器(mfc)中設置有一個氣體流量調節閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。mfc的工作壓差范圍通常為0.1~0.3mpa, 若壓差低于值(0.1 mpa),流量計控制模塊, 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能關閉時流量不能小于2%f.s。用戶使用mfc時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使mfc進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。
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流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成-損失。
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(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當衡量生產廠家的產品﹑銷售價格﹑售后服務﹑技術水平﹑產品特點﹑生產規模﹑企業信譽等因素。
(2) 注意選擇正確的量程
a. 將您需要的流量換算成標準狀態下的流量流量。
b. 根據廠家提供的流量轉換系數表,將您所用氣體的流量值換算成與氮氣標定氣體等價的流量值。如果您希望按您實際使用的氣體標定,請向廠家說明。有關流量轉換系數的問題,以下還有進一步解答。
c. 確定所需標準量程。廠家一般有自己的各種規格的標準量程,您實際使用的流量值應接低于某個標準量程值。標準量程的選取要避免過大或過小。流量的誤差指標是按滿量程值的百分比規定的,如果實際流量較小而量程值選取過大,則測量值的相對誤差較大。
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