全自動硅片腐蝕清洗機
全自動硅片腐蝕清洗機型號：cgb-xxxx—xx系列，品牌：華林嘉業—cgb。該設備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕，德國進口磁白pp板經雕刻后熱彎/焊接組合加工;一、槽體結構：該槽體實現腐蝕或后殘留在片子上的化學液及污染顆粒的沖洗---除功能。它由安裝在槽體底部的排閥、di注入孔包括氮氣鼓泡及頂部左右兩側的di噴嘴實現槽體的快速注入與排放。二、工藝控制：沖洗槽qdr的工作過程由獨立k200型控制器---。所有工序均由機械手自動行走自動完成。
現有技術中，待清洗的晶圓板固定在晶圓清洗機的清洗臺上，通過位于清洗臺上方的噴水頭對清洗臺上的晶圓板進行沖洗，硅芯腐蝕設備，清洗范圍有限，不能對晶圓板的反面進行清洗，需要反向再次放置晶圓板，使得清洗效率低一種用于晶圓加工的晶圓清洗機，包括箱殼(1)和位于箱殼(1)頂部的翻蓋(2)，硅芯清洗機，其特征在于，所述箱殼(1)的內腔前后兩側壁均轉動連接有直桿(3)，兩個所述直桿(3)之間固定連接有晶圓固定件。
微電子技術是隨著集成電路，尤其是---型規模集成電路而發展起來的一門新的技術。其發展的理論基礎是19世紀末到20世紀30年代期間建立起來的現代物理學。微電子技術包括系統電路設計、器件物理、工藝技術、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術，微電子技術是微電子學中的各項工藝技術的總和。
化學清洗槽也叫酸槽/化學槽，主要有hf，h2so4，常州硅芯，h2o2，hcl等酸堿液體按一定比例配置，硅芯腐蝕機，目的是為了去除雜質，去離子，去原子，后還有di清洗。ipa是，就是工業酒精，是用來clean機臺或parts的，是為了減少partical的。
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