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靜電是時時刻刻到處存在的,但是在二十世紀40-50年代很少有靜電問題,因為那時是晶體三極管和二極管,而所產生靜電也不如現在普遍存在。在60年代,隨著對靜電非常敏感的mos器件的出現,靜電問題也出現了,到70年代靜電問題越來越來---。80-90年代,隨著集成電路的密度越來越大,一方面其二氧化硅膜的厚度越來越薄微米-納米,其承受的靜電電壓越來越低,另一方面,產生和積累靜電的材料如塑料,橡膠等大量使用,使得靜電越來越普遍存在,僅美國電子工業每年因靜電造成的損失達幾百億美圓,因此靜電防護已成為電子工業的隱形-。是電子工業普遍存在的"硬---",在某個時刻內外因條件具備時就要發作。
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隨著產業化的國際分工日益細化,產品生產制造過程在不同地區、不同廠家協作進行已經成為電子行業的特點之一。而這種標準上的差異和沖突給國際分工過程中的esd工作帶來了諸多不便。目前國內的許多ems廠家經常碰到的問題就是,客戶來審核esd時,總說esd有問題,而且不同的客戶所提的問題不同,甚至對同樣問題的解決方式會有不同的做法和要求,廠家往往無所適從。
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在半導體器件生產車間,由于塵埃吸附在芯片上,ic尤其是---規模集成電路(vlsi)的成品率會---下降。 ic生產車間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現場的話,將影響產品,惡化產品性能、---降低ic成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于100μm線條寬度約100μm時,薄膜厚度在50μm下時,則易使產品報廢。
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