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ttv是“total thickness variation”的縮寫(xiě)或簡(jiǎn)稱(chēng)，意為總厚度變化，總厚度偏差。
有一種檢測(cè)硅片厚度一致性的方法，叫總厚度偏差ttv，就是指硅片厚度的-值與小值之差。ttv:硅片厚度變化量。一般來(lái)講，硅片厚度對(duì)硅片本身的品質(zhì)沒(méi)有什么影響。硅片中真正起作用的只是硅片表面薄薄的一層，其余的都是起支撐作用。
　　ttv當(dāng)然越小越好。ttv是衡量硅片品質(zhì)的一個(gè)很重要的指標(biāo) 過(guò)程控制，鋼線的檢查，圓度是否超標(biāo)，導(dǎo)輪使用壽命是否到了，工裝夾具是否有問(wèn)題等等。
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