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pld-m復(fù)合pld設(shè)備特點(diǎn)簡(jiǎn)介：
基于非常豐富銷售經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行
可以組合其他濺射源和沉積源
可φ2英寸的大直徑基板，通過采用φ2英寸的燈源，可以在廣泛的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，
可以選配合擇多種選項(xiàng)，通過安裝在大面積pld上的分布，為φ2英寸的電路板提供均勻分布的選項(xiàng)。
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