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電子工業(yè)用超純水概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、---線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、-、---規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標準，分別為18mω.cm、15mω.cm、10mω.cm、2mω.cm、0.5mω.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝a程為：原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***陽床***陰床***混床復床***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***反滲透設(shè)備***混床復床***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子edi設(shè)備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿?--的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***反滲透設(shè)備***電去離子edi***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
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