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電子工業用超純水概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、---線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、-、---規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18mω.cm、15mω.cm、10mω.cm、2mω.cm、0.5mω.cm，以區分不同水質。
制備電子工業用超純水的工藝流程
電子行業制備超水的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝a程為：原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***陽床***陰床***混床復床***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***反滲透設備***混床復床***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子edi設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種，經濟，發展潛力---的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水***沙炭過濾器***精密過濾器***原水箱***反滲透設備***電去離子edi***純水箱***純水泵***后置精密過濾器***用水點
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