產品性能
低頻電源提供600w、1000w功率輸出，頻率范圍350khz-450khz。機箱整體采用半機箱結構設計使其體積更小便于安裝。
應用對象
該電源作為射頻驅動等離子體系統的電源，主要應用于半導體領域。應用對象包括：刻蝕、pecvd、pvd等系統
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