深圳市中圖儀器股份有限公司為您提供非接觸3d光學(xué)輪廓儀。supervieww1非接觸3d光學(xué)輪廓儀具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。
supervieww1非接觸3d光學(xué)輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度rms重復(fù)性。粗糙度、平面度、孔洞分析等3d測(cè)量功能全部囊括,距離、角度、直徑測(cè)量等2d輪廓分析功能覆蓋。
性能特征
1、精度比較高、高重復(fù)性
1采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密z向掃描模塊和優(yōu)異的3d重建算法組成測(cè)量系統(tǒng);
2隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2hz以上大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測(cè)量重復(fù)性。
2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
1測(cè)量與分析同界面操作,無須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;
2可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程;
3結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程;
4幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;
6可測(cè)依據(jù)iso/asme/eur/gbt等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2d、3d參數(shù)。
3、精密操作手柄
集成x、y、z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操作手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、找條紋等測(cè)量前工作。
4、雙重防撞保護(hù)措施
除初級(jí)的軟件zstop設(shè)置z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
1軟件防撞保護(hù)zstop
zstop,顧名思義,就是軟件設(shè)置在z軸上的停止位,設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí),就停止不再向下運(yùn)動(dòng),起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
2z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù),守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
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