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sintaike stk-5120半自動晶圓減薄后撕膜機規格:
晶圓尺寸:8”12”晶圓;
厚度:150 ~750微米;
晶圓種類:硅;平邊或v型缺口晶圓;
撕膠膜種類:撕膜膠帶;
寬度:38~100毫米;
長度:100米;
撕膜角度:<45度,并且在 5°~45°可調節;
撕膜溫度:室溫到100 ℃范圍可調,控溫精度+/-3℃;
晶圓臺盤:通用防靜電特氟龍涂層接觸式金屬臺盤;
帶可控加熱功能,溫度max可達100℃;
臺盤帶吸真空功能;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
防靜電控制:離子風扇;
晶圓定位:彈簧銷釘定位;
控制單元:基于plc 控制,并配有5.7”觸摸屏;
驅動單元:伺服馬達驅動;
安全保護:配置緊急停機按鈕;
電源電壓:單相交流電220v,5a;
壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
機器指示:三色燈塔顯示機臺工作狀態;
體積:660毫米(寬) x 1170毫米(深) x 1000毫米(含燈塔高);
凈重:75公斤;
晶圓撕膜機stk-5120性能
晶圓收益:***99.9%;
撕膜:無裂片;
每小時產能:*** 80片晶圓;
更換產品時間:≤ 5分鐘
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