東莞市天測光學設備有限公司為您提供view microline 300一款桌上型半自動cd測量儀器。主要技術參數：
◆ 測量范圍(xyz)：標準：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆ 視場內測量精度：10nm(100x 鏡頭)；z軸ju jiao范圍：25 mm
◆ 視場內測量范圍：0.5um~400um；
◆ 視場內測量重復性(100x 物鏡)： 晶圓上<0.010um(1δ)；
掩模板上0.005um(1δ)；
◆ 承重：2kg
◆ 標配鏡頭10x，可選鏡頭：5x, 20x, 50x, 100x
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