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日本okamoto gnx200b全自動研磨機特點:
1. 適用晶圓尺寸厚度晶圓尺寸:4”、5”、6”、8”晶圓厚度:1000μm
2. 研磨方法向下進給式研磨在線測量厚度控制
3. 操作方法全自動、半自動、手動
4. 操作面板主控制面板:17 寸,顯示研削條件,操作輸入;顯示系統功能條件,監控空氣壓力,電流,水流量等分控制面板: 厚度控制顯示
5. 設備尺寸及重量尺寸:1350 (w) x 2370 (d) x 1845 (h)
重量:3900 kg
gnx200b全自動研磨機規格:
規格 gnx200b
加工直徑 ф200
軸承旋轉數 0~3600min-1
軸承驅動電機 2.2/4 kw/p
軸承進給速率 1~999μm/min
主軸數 2
工作軸旋轉數 1~300min-1
軸承尺寸外徑 ф250
3900mm
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