TC WAFER .

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tc wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化，例如：升溫，降溫過程及---周期等！溫度的均勻與否，良率
溫度范圍：
低溫：-150 to 700°c硅基膠粘劑
高度：-150 to 1,200°c焊接設計
熱電偶選型：
● type k (精度級別±1.1°c/0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°c
● type n (精度級別±1.1°c/0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°c
● type e (精度級別±1.0°c/0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°c
● type t (精度級別±0.5°c/0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°c
● type r/s (精度級別±1.5°c/0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°c
晶圓材質：
硅、altic、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。
主要規格：
4寸，6寸，8寸，12寸
擴展線：可絕緣層材質，接頭類型。密封的聚酰扁平電纜，可在---中打到10-7托。長度有客戶
傳感器引線：長達40英尺–可定制,
被覆材質：石英 陶瓷纖維 tef
絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰
線規：20 awg – 40 awg
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