固態微波遠程等離子體源-等離子蝕刻-微波源

成都沃特塞恩電子技術有限公司為您提供固態微波遠程等離子體源-等離子蝕刻-微波源。沃特塞恩提供的固態微波遠程等離子體源系統引進了德國的等離子體技術，主要由等離子體放電腔、gaox效率固態微波源、微波傳輸及調配器組成。
因固態微波遠程等離子體源的特殊結構，等離子體在反應區之外的等離子體放電腔中被激發，在---高電離率與低重組率的同時，為用戶提供高濃度、低溫度、更均勻的活性自由基。有效的降低了電子、離子等高能活性離子對材料表面的轟擊損傷，活性自由基對樣品的作用占------，有效控制反應均勻性，減少污染，是干法處理半導體材料的更穩妥的方案。
> 采用新技術的固態微波源，頻率、功率穩定性高，使用---，無需更換磁控管耗材
> 等離子體放電腔材質可選，可適用各種氣體
> 體積小、集成度高、便于更換
> ---的放電腔設計，負載匹配度高，反射功率小，低于1%
> 系統運xing qi壓適應范圍廣
> 電離率高、電離速度快
固態微波遠程等離子體源的應用范圍如下：
前道及后道半導體生產工序中的去膠，前道及后道半導體生產工序中的刻蝕，柔性pcb卷對卷工藝制作中聚酰yaan薄膜的刻蝕，材料表面處理
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