蘇州晶淼半導(dǎo)體設(shè)備有限公司為您提供半導(dǎo)體晶圓硅片清洗機，蘇州晶淼。全自動設(shè)備：晶圓片在工藝槽之間的移動，通過機械手完成。可實現(xiàn)干進干出，自動上料、自動下料，自動配液、自動補液。全自動多用于工作環(huán)境、工藝要求高的工序，以及大尺寸晶圓清洗。
半自動設(shè)備：晶圓片花籃在工藝槽之間的移動，通---工取放；通過彩色觸摸屏實現(xiàn)人機溝通交互和完成。可實現(xiàn)工藝參數(shù)的設(shè)定、修改和儲存、清洗過程的實時監(jiān)控和時顯示，工作完成提示、故障報警等。各工藝槽具備一鍵操作按鈕。
手動設(shè)備特定：晶圓片在工藝槽之間的移動，通---工取放。工藝操作通過按鈕或手動閥實現(xiàn)，人為-性強。操作和維護簡便，設(shè)備和使用成本投入低。
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