ABL8000氣浮平臺

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1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應(yīng)用設(shè)計
2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性ji好
3所有軸全預(yù)加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的xy子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
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