ABL3600氣浮平臺

北京高控科技有限公司為您提供abl3600氣浮平臺。abl3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測---應用設計
2雙軸,大孔,開放式結構
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅動xy軸
5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
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     推薦關鍵詞： 運動控制器, 驅動器, 伺服電機, 減速機, 編碼器